COATING EQUIPMENT PRODUCTION
Arc ion plating 코팅중 filter 공법을 적용한 우수한 표면 조도의 박막 코팅용 시스템
Cathodic Arc source에서 발생한 랜덤하고 일부 포함된 불순 이온들을 Fltered 하기 위해 Duct를 채용한 source이다. 전자기장을 Duct에 가하여 금속 이온은 유도하고 불순 이온과 매크로 입자들은 걸러내어 매우 순수 하고 월등한 초고경도의 박막을 형성하게 된다.
APPLICATION | DLC(ta-C) coating, Metal coating | Ultra smooth surface |
PlASMA SOURCE | Cathodic Arc source | Electromagnetic field controled |
CHAMBER SIZE | Batch type | H 1000 x Φ 1000mm or H600 x Φ 800mm |
PRODUCT LOADING | Vertical type | Rovolution and rotation |
PROCESS CONTROL | PC Window control | Full automatic process and process data store |