일반적인 플라즈마 코팅 장비에서는 온도가 높아 질수록 플라즈마를 형성하는 이온과 표면과의 반응 속도가 빨라지며 반응 속도의 증가는 확산반응이나 이온의 이동도에 긍정적인 영향을 주게 된다. 이러한 영향은 아레니우스식 등 다양한 원리로 증명 되었다. 이러한 원리를 이유로 진공 증착 시 분위기 온도를 400℃ 이상 높여 증착 하는 경우가 많이 있었다. 그러나 고온 코팅은 모재의 변형과 파괴의 가능성이 있으며 결국 코팅 모재가 금속으로 한정된다.네쓰에서는 이러한 단점을 해결하기 이온 소스를 이용한 공정을 개발하여 저온에서도 코팅이 가능하도록 하였다.