COATING SYSTEM

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코팅시스템

COATING SYSTEM

DLC Coating System

Linear Ion-beam Source를 이용한 DLC, WCC코팅용 시스템

Ion-beam source는 좁은 트랙(애노드와 캐소드의 간격)에 높은 전기장 (수백~수천 V)을 가한다. 이때 고순도 가스를 트랙에 흐르게 하면 가스는 원자로 분해되며 이 현상으로 플라즈마(빛에너지)가 발생된다. 발생된 플라즈마는 전·자기장에 의해 외부로 곧고 강하게 방출된다. 이러한 원리의 Ion-beam source를 활용하여 DLC 박막이 형성한다

SPECIFICATIONS

APPLICATION DLC coting, WCC coating, Metal coating
PlASMA SOURCE 1 Ion Beam source Source size - 380 x 110 mm or 840 x 100 mm
PlASMA SOURCE 2 Sputter source Souce size - 400 X 115 mm or 880 X 115mm
CHAMBER SIZE Batch type H 1000 x Φ 1000mm or H600 x Φ 800mm
PRODUCT LOADING Vertical type Rovolution and rotation
PROCESS CONTROL PC Window control Full automatic process and process data store
  • APPLICATION
  • DLC coting, WCC coating, Metal coating
  • PlASMA SOURCE 1
  • Ion Beam source
  • Source size - 380 x 110 mm or 840 x 100 mm
  • PlASMA SOURCE 2
  • Sputter source
  • Souce size - 400 X 115 mm or 880 X 115mm
  • CHAMBER SIZE
  • Batch type
  • H 1000 x Φ 1000mm or H600 x Φ 800mm
  • PRODUCT LOADING
  • Vertical type
  • Rovolution and rotation
  • PROCESS CONTROL
  • PC Window control
  • Full automatic process and process data store